关手rms

各位大虾，我有一张光学图，图是长76X宽6.5X厚1的长条玻璃图，在两个大面之间有一个角度为0.3度的角度，它上面有一个技术要求看不懂，是这样一段话“关于面精度，以激光632nm干涉为0.26λrms，也就是在∮6mm范围内面精度<20rms“对于其中的rms不知道到底怎么理解，知道的说下，TKS！急急！！！！！！！！！！！