PECVD在金刚石、光学薄膜和硬质薄膜方面的应用

PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量的直径可达8寸的SiO2薄膜、Si3N4 薄膜、类金刚石薄膜。 ... 应用领域：1)等离子诱导表面改性；2)等离子清洗（NF3）；3) 反应离子刻蚀；4)等离子体聚合；5) PECVD；6) SiO2、Si3N4、类金刚石薄膜。
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