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[求助] PD的电容测试用什么仪器好!

PD的电容测试用什么仪器好!

请教一下,目前我要测试PD正负两PIN脚之间的电容值,测试的频率为1MHz,5V的偏置电压,请问各位都用什么仪器测,我知道Agilent E4980A可以测,但价格太贵要20万,而Keithley的一款CV高频(具体型号忘了)又停产了,各位有什么好的推荐的吗?(最好国外的)

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