FilmStar薄膜设计软件
FilmStar是一个强大且容易使用的窗口之薄膜设计软件
内容: FilmStar光学薄膜设计软件 本文由讯技光电科技提供
FilmStar是一个强大且容易使用的窗口之薄膜设计软件,它的功能可分成下列几个模块供使用者选择:
Design: Designs and optimizes optical thin film coatings
INDEX: Maintains dispersive index files and functions
MONITOR: Converts designs to optical monitor settings
CRYSTAL: Uploads designs to Inficon and Sycon deposition controllers
MEASURE: Controls and acquires data from spectrophotometers.
This program is also marketed to chemists as Scantraq for Windows.
FILMSTAR Optical Thin Film Software
FilmStar 包含了五种模块对于光学薄膜镀膜的设计,特征化,量测,监控,有着强大的功能,分别为DESIGN , INDEX , MEASURE , MONITOR , CRYSTAL.以下就其主要特色分述如下;
DESIGN
1. 薄膜设计 (Thin Film Design)
其中包含许多的功能及主要特色
光学(Optical),物理(Physical),大量(massive)层的厚度定义
Ruget , 数学操作 , Herpin 替换(replacement)
光学和物理厚度的转换
群组和层数的转换
反向设计(reverse design)
不同质(inhomogeneous)层的模拟
包含了52种膜的材料
1. 膜索引 (Film Indices)
常数,色散(dispersive)查阅表,吸收色散(absorbing dispersive)函数一直到第七项系数,内建函数包含Buchdahl , Cauchy , Lorentz , quadratic , Sellmeier , etc.使用者可增加到20种新的函数到内建的编辑功能中,如FilmStar Workbook或是Excel或是其它程序中.
2. 基底补偿(Substrate Compensation)
精确的校正基底表面,对于正向及逆向入射光,基底可被视为大量的(massive)层,在系统中含有多重吸收基底及空气间隔,这样允许被计算及最佳化.
3. 计算量(Calculated Quantities)
[%R , %T , O.D , 相位] V.S [波长 , 角度 , 厚度]
CIE color
椭率测量术(ellipsometry)
Herpin indices
5. 最佳化(Optimization)
共有四种优化方式供选择
Damped Least Squares
Levenberg-Marquardt
Simplex
NOL Gradient Methods
INDEX
光学膜不仅只是设计,还必须能被特征化,对成功的薄膜制造而言,推断色散指数(dispersive indices)的能力就非常重要
1. 索引目录(Index Tables)
编辑,略图及储存[n,k] V.S [波长]的资料 .Index函数(Lorentz,Sellmrier , etc)能被略图及提供n,k目录.使用者自订函数能被定义在内建的FilmStar workbook或外部的Windows程序,如Excel或是Visual Basic.
2. 附加运算法(Additional algorithms)
对于以知厚度的单层薄膜可由 %R及 %T数据计算 n,k
对于轻微吸收的单层薄膜可由%T数据计算 n,k
由 %R及 %T数据计算filter glass基底的 n,k
MEASURE
MEASURE由分光光度计(Spectrophotometers)控制及获得数据,它亦可与FilmStar中的DESIGN结合.
以下的仪器是目前所支持的:
Perkin-Elmer Lambda 2,5,7,9,19,900
88x,983,983G(FIR models)
Spectrum2000FTIR
Hewlett HP8453 Diode-Array
Varian Associates Cary1,3,4,5
Hitachi U-3200/3210,U-3400/3410
MONITOR
MONITOR使用者能仿真沈积过程(Deposition processes)及决定最理想的方式获取高产量的生产.
CRYSTAL
CRYSTAL转换薄膜设计到Inficon IC/4+,IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作处理.以上概括简述FilmStar的特色及功能,它亦能做容限(Tolerancing)分析,产量分析,等等….实为光学设计者的有利帮手.
