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NANOMASTER 发表于 2006-4-3 18:15

MOCVD的应用范围

信息来源于[url]http://www.startscience.com/ArticleShow.asp?ArticleID=239[/url]

1)         钙钛矿氧化物如PZT、SBT、CeMnO2等;

2)         铁电薄膜;

3)         ZnO透明导电薄膜、用于蓝光LED的n-ZnO和p-ZnO、用于TFT的ZnO、ZnO纳米线;

4)         表面声波器件SAW(如LiNbO3等);

5)         三五族化合物如GaN、GaAs基发光二极管(LED)、激光器(LD)和探测器;

6)         MEMS薄膜;

7)         太阳能电池薄膜;

8)         锑化物薄膜;

9)         YBCO 高温超导带;

10)      用于探测器的SiC、Si3N4等宽带隙光电器件

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