MOCVD的应用范围
信息来源于[url]http://www.startscience.com/ArticleShow.asp?ArticleID=239[/url]1) 钙钛矿氧化物如PZT、SBT、CeMnO2等;
2) 铁电薄膜;
3) ZnO透明导电薄膜、用于蓝光LED的n-ZnO和p-ZnO、用于TFT的ZnO、ZnO纳米线;
4) 表面声波器件SAW(如LiNbO3等);
5) 三五族化合物如GaN、GaAs基发光二极管(LED)、激光器(LD)和探测器;
6) MEMS薄膜;
7) 太阳能电池薄膜;
8) 锑化物薄膜;
9) YBCO 高温超导带;
10) 用于探测器的SiC、Si3N4等宽带隙光电器件
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