纳米光栅的加工
天津大学微纳制造技术工程研究中心引进聚焦离子束微纳加工机, 可利用高能聚焦离子实现对材料的溅射、沉积、注入和改性；结合场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）可以高分辨率观测加工结果微观形貌，实现微纳加工与高分辨率观测一体化； 高精度复杂的微纳米结构和器件的加工；
微电子集成电路的缺陷检测分析和修整；
TEM样品的制备和提取；
微纳米生物芯片和光学器件加工研究；
微/纳米器件的制备和操纵
纳米光栅的加工
天津大学微纳制造技术工程研究中心
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