聚焦离子束与扫描电子显微镜
[font=宋体]天津大学微纳制造技术工程研究中心引进[/font][b][font=宋体][size=14pt]聚焦离子束微纳加工机[/size][/font][/b][b][font=宋体][size=10.5pt][font=Times New Roman], [/font][/size][/font][/b][font=宋体]可利用高能聚焦离子实现对材料的溅射、沉积、注入和改性；结合场发射扫描电子显微镜（[/font][size=10.5pt][font=Times New Roman]FE-SEM[/font][/size][font=宋体]）可以高分辨率观测加工结果微观形貌，实现微纳加工与高分辨率观测一体化；[/font][font=宋体][size=10.5pt][/size][/font][size=10.5pt][font=Times New Roman]
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[/size][/font][font=宋体]高精度复杂的微纳米结构和器件的加工；[/font][size=10.5pt][/size]
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[/size][/font][font=宋体]微电子集成电路的缺陷检测分析和修整；[/font][size=10.5pt][/size]
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[/size][/font][size=10.5pt][font=Times New Roman]TEM[/font][/size][font=宋体]样品的制备和提取；[/font][size=10.5pt][/size]
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[/size][/font][font=宋体]微纳米生物芯片和光学器件加工研究；[/font][size=10.5pt][/size]
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[/size][/font][font=宋体]微[/font][size=10.5pt][font=Times New Roman]/[/font][/size][font=宋体]纳米器件的制备和操纵。[/font][size=10.5pt][/size]
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[font=宋体]天津大学微纳制造技术工程研究中心[/font]
[font=宋体]地址：天津经济技术开发区第四大街[/font][font=Times New Roman]80[/font][font=宋体]号天大科技园[/font][font=Times New Roman]A2[/font][font=宋体]座[/font][font=Times New Roman] [/font]
[font=宋体]主页：[/font][url=http://www.mn-mt.com/machining2.htm][font=Times New Roman][color=#800080]http://www.mn-mt.com/machining2.htm[/color][/font][/url]
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[font=宋体]电[/font][font=Times New Roman] [/font][font=宋体]话：[/font][font=Times New Roman]022-59813871[/font]
[font=宋体]联[/font][font=Times New Roman] [/font][font=宋体]系[/font][font=Times New Roman] [/font][font=宋体]人：徐宗伟[/font][font=Times New Roman] [/font][font=宋体]（研发经理）[/font][font=Times New Roman]
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